《GB/T 4937.13-2018 半導(dǎo)體器件 機(jī)械和氣候試驗(yàn)方法 第13部分：鹽霧》是中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)發(fā)布的標(biāo)準(zhǔn)，用于評(píng)估半導(dǎo)體器件在鹽霧環(huán)境下的耐蝕性和可靠性。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鹽霧試驗(yàn)的方法和要求。

一、范圍：
GB/T 4937的本部分規(guī)定了半導(dǎo)體器件的鹽霧試驗(yàn)方法，以確定半導(dǎo)體器件耐腐蝕的能力。本試驗(yàn)是模擬嚴(yán)酷的海邊大氣對(duì)器件暴露表面影響的加速試驗(yàn)。適用于工作在海上和沿海地區(qū)的器件。
本試驗(yàn)是破壞性試驗(yàn)。
本試驗(yàn)總體上符合IEC 60068-2-11，但鑒于半導(dǎo)體器件的特殊要求，采用本部分的條款。

二、試驗(yàn)項(xiàng)目：
鹽霧試驗(yàn)。

三、試驗(yàn)設(shè)備：
鹽霧試驗(yàn)箱。

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五、試驗(yàn)程序（部分）：

按要求預(yù)處理之后，試驗(yàn)樣品應(yīng)按如下方式放置在試驗(yàn)箱里，使它們彼此不接觸，彼此不斌擋，能自由地接受鹽霧作用，腐蝕生成物和凝聚物不會(huì)從一個(gè)樣品滴落在另一個(gè)樣品上。試驗(yàn)箱中噴霧的保持時(shí)間應(yīng)按4.2試驗(yàn)條件的要求執(zhí)行。
試驗(yàn)期間，試驗(yàn)箱內(nèi)的溫度應(yīng)保持在(35±2)℃，鹽霧的濃度和噴出速度應(yīng)調(diào)節(jié)到使試驗(yàn)區(qū)域內(nèi)鹽沉降率為(30±10)g/(㎡?d)。在不低于35℃測(cè)量時(shí)，鹽溶液的pH值應(yīng)在6.0～7.5之間[只能用化學(xué)純(CP級(jí))的鹽酸或氫氧化鈉(稀溶液)來(lái)調(diào)整pH值]。

《GB/T 4937.13-2018》標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了試驗(yàn)裝置、試驗(yàn)樣品的選擇和準(zhǔn)備、試驗(yàn)條件、試驗(yàn)過(guò)程和評(píng)定方法等方面的要求。通過(guò)該標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行的鹽霧試驗(yàn)可以幫助制造商和使用者了解半導(dǎo)體器件在鹽霧環(huán)境下的可靠性表現(xiàn)，指導(dǎo)產(chǎn)品設(shè)計(jì)和改進(jìn)工藝。